瑞士萬(wàn)通離子色譜應(yīng)用一芯中有我--電子級(jí)HF

       中美貿(mào)易戰(zhàn)的大背景下還存在過(guò)一場(chǎng)日韓貿(mào)易戰(zhàn)，大家應(yīng)該還都有印象，日本對(duì)韓禁售電子級(jí)HF、氟聚酰亞胺和光刻膠，韓國(guó)哀嚎一片。為什么這三類(lèi)產(chǎn)品對(duì)于韓國(guó)這么重要呢？

       別的且不說(shuō)，電子級(jí)HF屬壟斷產(chǎn)品，其純度和潔凈度對(duì)集成電路的成品率、電性能及可靠性影響很大，主要用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能和液晶顯示器等領(lǐng)域，是這些行業(yè)中關(guān)鍵的輔助材料之一。其中非常大應(yīng)用市場(chǎng)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，約占電子級(jí)HF總消耗量47.3%；其次是太陽(yáng)能產(chǎn)能，比重22.1%；液晶顯示器產(chǎn)業(yè)則占18.3%。半導(dǎo)體和液晶顯示都是韓國(guó)的支柱產(chǎn)業(yè)，對(duì)韓國(guó)的重要性不言而喻，因此日本這一招可謂打在韓國(guó)的命脈上。因此韓國(guó)急忙轉(zhuǎn)向中國(guó)，韓國(guó)三星、LG、SK海力士等企業(yè)開(kāi)始頻頻與中國(guó)相關(guān)企業(yè)聯(lián)系，據(jù)說(shuō)也簽訂了一些購(gòu)買(mǎi)協(xié)議。

       目前日韓貿(mào)易戰(zhàn)已經(jīng)告一段落，中美貿(mào)易戰(zhàn)卻是愈演愈烈，中興被處罰，華為被全面封鎖，中國(guó)人民感覺(jué)到了芯片產(chǎn)業(yè)的重要性，電子級(jí)HF做為半導(dǎo)體制作過(guò)程中應(yīng)用非常多的超凈高純?cè)噭┲?，質(zhì)量必須得到保證。

       目前國(guó)內(nèi)現(xiàn)行關(guān)于HF的標(biāo)準(zhǔn)只有GB/T 31369-2015《太陽(yáng)電池用電子級(jí)HF》，不過(guò)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)用高HF》和《電子工業(yè)用高HF中痕量陰離子含量的測(cè)定  離子色譜法》已經(jīng)完成了意見(jiàn)征集，以上標(biāo)準(zhǔn)中均采用離子色譜來(lái)檢測(cè)HF中的痕量陰離子，離子色譜在保證電子級(jí)HF質(zhì)量方面具有*的作用。

          瑞士萬(wàn)通離子色譜堅(jiān)實(shí)耐用，整機(jī)由瑞士進(jìn)口，取得“Swiss made”標(biāo)識(shí)的使用資格（至少60%成本在瑞士，賦予產(chǎn)品基本特征的階段也必須在瑞士進(jìn)行），十分適合HF中陰離子的檢測(cè)。

       離子色譜法直接分析HF中的痕量陰離子難度較大，高倍稀釋雖然能降低高含量的F^-的干擾，但大大降低了待測(cè)陰離子的靈敏度。二維離子色譜法為此類(lèi)樣品提供了解決方法。HF其實(shí)為一種弱酸，它可以在離子排斥柱上保留，因此可利用這一特性，樣品在離子排斥柱上預(yù)分離，強(qiáng)酸如HCl、HNO3、H2SO4等在排斥柱上不保留，通過(guò)閥切換技術(shù)，進(jìn)入第二套陰離子分析系統(tǒng)分析。

使用Metrosep Organic Acid做為離子排斥分離柱，淋洗液為超純水，進(jìn)樣體積250μL，流速0.5mL/min，進(jìn)行預(yù)分離；Metrosep A Supp 10-250做為陰離子分離柱，淋洗液： 5.0mM Na2CO3+5.0mM NaHCO3 ； 流速1.0mL/min，柱溫50℃，進(jìn)行陰離子分析。

除電子級(jí)HF外，其它高純?cè)噭┤珉娮蛹?jí)硝酸、電子級(jí)磷酸、電子級(jí)過(guò)氧化氫等原料中痕量陰離子的檢測(cè)，瑞士萬(wàn)通均可提供完善的解決方案。