“曼”談光譜 | 熟悉又陌生的金剛石薄膜
一提到金剛石這個詞想必大家都不陌生了,今天要說的也是金剛石家族的一個成員——金剛石薄膜。
什么是金剛石薄膜?
金剛石薄膜是20世紀80年代中后期迅速發(fā)展的一種優(yōu)良的人工制備材料。通常以甲烷、乙炔等碳氫化合物為原料,用熱燈絲裂解、微波等離子體氣相淀積、電子束離子束轟擊鍍膜等技術,在硅、碳化硅、碳化鎢、氧化鋁、石英、玻璃、鉬、鎢、鉭等各種基板上反應生長而成。
集諸多優(yōu)點于一身的金剛石薄膜,它不僅具有金剛石的硬度,還有良好的導熱性、良好的從紫外到紅外的光學透明性以及高度的化學穩(wěn)定性。在半導體、光學、航天航空工業(yè)和大規(guī)模集成電路等領域擁有廣泛的應用前景。至今為止,已在硬質切削刀具、X射線窗口材料、貴重軟質物質保護涂層等應用中具有出色的表現(xiàn)。
隨著金剛石薄膜的研發(fā)需求和生產規(guī)模不斷壯大,是否有一套可靠的表征方法呢?
當然有!
拉曼光譜用于碳材料的分析已有四十多年,時至今日也形成了很多比較完善的理論。對于不同形式的碳材料,如金剛石、石墨、富勒烯等,其拉曼光譜具有明顯的特征譜線差異。
此外,拉曼光譜測試是非破壞性的,對樣品沒有太多要求,不需要前處理過程,可以直接檢測片狀、固體、微粉、薄膜等各種形態(tài)的樣品。
拉曼光譜檢測方法
測試儀器:安東帕Cora5001拉曼光譜儀
金剛石薄膜的應力值是非常重要的質量指標。金剛石薄膜和基體之間熱膨脹的差異以及其他效應(如點陣錯配、晶粒邊界的成鍵和薄膜生長過程中的成鍵變化等)導致了生長后的薄膜存在殘余應力。典型可見光激光激發(fā)的拉曼光譜在1000-2000cm-1包含了金剛石薄膜的應力信息。對于較小的應力,拉曼譜圖表現(xiàn)為偏離本征頻率的一個單峰,并且譜峰會變寬。在高達140GPa的壓力下,拉曼位移甚至能夠偏移到1650cm-1,與此同時線寬增加了2cm-1。
下圖是安東帕Cora5001拉曼光譜儀檢測的一張典型的非有意摻雜的金剛石薄膜的拉曼譜圖。
圖中可以發(fā)現(xiàn),除了位于1332cm-1的一階拉曼譜線以外,也能夠觀測到其他很多拉曼譜峰,典型譜峰的位置和指認如表1中所示。
峰位/cm-1 | 指認 |
1100~1150 | 可能是反聚乙炔的C=C鍵伸展和扭動模式造成的 |
1332 | 金剛石的一階拉曼譜線 |
1345 | sp2無定形碳(D模) |
1430~1470 | 可能是反聚乙炔的C=C鍵伸展和扭動模式造成的 |
1520~1580 | sp2無定型碳(G模) |
表1:金剛石薄膜譜峰位置以及指認
結論:根據金剛石薄膜的拉曼光譜,我們可以根據靜壓力模型并加以合適的校正算法來推導出應力值,還可以根據譜圖分析摻雜情況,用于綜合評價金剛石薄膜的產品質量。
安東帕Cora5001拉曼光譜儀
Cora 5001系列拉曼光譜儀在金剛石材料的檢測中具備很大優(yōu)勢:
碳材料分析模式:智能分析軟件中的Carbon Analysis Model可以自動進行尋峰、進行峰形擬合,再計算碳材料特征拉曼峰的信息。
一級激光:金剛石材料的拉曼檢測多使用532nm激發(fā),有時也需要使用785nm激光激發(fā),Cora5001可以做到一級激光的安全性能。
自動聚焦:Cora5001 (Direct)樣品倉室內配置了自動聚焦調整樣品臺,根據儀器自帶的聚焦算法可以輕松實現(xiàn)聚焦,使拉曼測試變得簡單便捷。
雙波長可選:金剛石家族的拉曼光譜與入射激光波長密切相關,多一種波長選擇也許會得到不同的信息,這為信息互補提供必要條件?!半p波長拉曼"每個波長都配置獨立的光譜系統(tǒng),只需按一下按鍵即可從一個波長輕松切換到另一個波長,無需額外調整樣品。
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